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一种静电卡盘装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022354451.9
申请日：
2020-10-21
公开(公告)号：
CN213936153U
公开(公告)日：
2021-08-10
发明(设计)人：
杨鹏远 王建冲 张玉利 唐娜娜 侯占杰 王超星 黎远成 何宏庆 樊文凤
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区经海路156号院10号楼4层
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01J3720 H01J3732
代理机构：
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人：
王献茹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-10 授权 授权
共 50 条
[1]
静电卡盘装置 [P]. 
朱煜 ;
徐登峰 ;
杨鹏远 ;
成荣 ;
许岩 ;
穆海华 ;
王建冲 ;
唐娜娜 .
中国专利 :CN205406505U ,2016-07-27
[2]
陶瓷静电卡盘装置 [P]. 
徐登峰 ;
朱煜 ;
许岩 ;
杨鹏远 ;
成荣 ;
侯占杰 ;
唐娜娜 ;
雷忠兴 ;
王建冲 ;
韩玮琦 .
中国专利 :CN206022339U ,2017-03-15
[3]
陶瓷静电卡盘装置 [P]. 
徐登峰 ;
朱煜 ;
杨鹏远 ;
许岩 ;
成荣 ;
唐娜娜 ;
侯占杰 ;
雷忠兴 ;
王建冲 ;
韩玮琦 .
中国专利 :CN205900519U ,2017-01-18
[4]
静电卡盘装置 [P]. 
朱煜 ;
徐登峰 ;
许岩 ;
杨鹏远 ;
穆海华 ;
成荣 ;
唐娜娜 ;
韩玮琦 ;
张鸣 ;
杨开明 .
中国专利 :CN107154376A ,2017-09-12
[5]
一种静电卡盘和半导体加工装置 [P]. 
孟昭生 ;
蔡翠玲 ;
尤丽丽 ;
陶晟 .
中国专利 :CN102446797A ,2012-05-09
[6]
石墨烯电极的静电卡盘装置 [P]. 
徐登峰 ;
朱煜 ;
杨鹏远 ;
许岩 ;
成荣 ;
韩玮琦 ;
唐娜娜 ;
张鸣 ;
杨开明 .
中国专利 :CN205406504U ,2016-07-27
[7]
一种静电卡盘 [P]. 
吉美爱 .
中国专利 :CN1851896A ,2006-10-25
[8]
一种静电卡盘 [P]. 
陈振宁 ;
李君 ;
石锗元 ;
肖伟 .
中国专利 :CN117810151B ,2025-07-25
[9]
一种静电卡盘 [P]. 
陈振宁 ;
李君 ;
石锗元 ;
肖伟 .
中国专利 :CN117810151A ,2024-04-02
[10]
静电卡盘装置及其集成工艺 [P]. 
朱煜 ;
徐登峰 ;
杨鹏远 ;
成荣 ;
许岩 ;
穆海华 ;
王建冲 ;
唐娜娜 .
中国专利 :CN107154375A ,2017-09-12
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