共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种静电卡盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311634853.6
申请日：
2023-11-30
公开(公告)号：
CN117810151B
公开(公告)日：
2025-07-25
发明(设计)人：
陈振宁
李君
石锗元
肖伟
申请人：
君原电子科技（海宁）有限公司
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
衡水市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-25 | 授权 | 授权 |
| 2024-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20231130 |