一种硅片表面清洁装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911056655.X

申请日：

2019-10-31

公开(公告)号：

CN112750719A

公开(公告)日：

2021-05-04

发明(设计)人：

葛华郑锋标张帅

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102 G03F720

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191031
2021-05-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片表面清洁装置 [P].

刘磊 ;

王小波 ;

郑强 .

中国专利 :CN216460370U ,2022-05-10

[2]

一种硅片表面抛光用清洁装置 [P].

李长坤 ;

谢永奕 .

中国专利 :CN217451149U ,2022-09-20

[3]

硅片清洁装置、硅片清洁设备及硅片清洁方法 [P].

周淼 ;

孙介楠 .

中国专利 :CN119819603A ,2025-04-15

[4]

一种用于表面清洁的清洁组件、表面清洁装置和表面清洁方法 [P].

戈闯 ;

岑明 ;

王夏宇 .

:CN117562440A ,2024-02-20

[5]

硅片清洁装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206602102U ,2017-10-31

[6]

硅片清洁装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN106898570A ,2017-06-27

[7]

一种大尺寸硅片的表面清洁装置 [P].

蔡焱锋 ;

李伟 ;

雍丽娟 ;

吴国辉 ;

贺斌华 .

中国专利 :CN213103522U ,2021-05-04

[8]

表面清洁装置和清洁方法 [P].

饶尧 ;

谢明健 ;

唐成 ;

段飞 ;

罗吉成 .

中国专利 :CN117898635A ,2024-04-19

[9]

硅片表面除尘装置和硅片表面除尘系统 [P].

钱海龙 ;

费正洪 .

中国专利 :CN209829761U ,2019-12-24

[10]

一种全自动硅片表面高效刷洗清洁装置及操作方法 [P].

戚定定 .

中国专利 :CN113857125A ,2021-12-31

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