一种硅片表面抛光用清洁装置

被引：0

申请号：

CN202220139170.8

申请日：

2022-01-19

公开(公告)号：

CN217451149U

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

李长坤谢永奕

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜北路26号依云置地中心3座1814、1815(住所申报)

IPC主分类号：

B08B104

IPC分类号：

B08B302 B24B5506 B24B2902

代理机构：

北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491

代理人：

王峰刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片抛光用陶瓷盘清洁装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN220836787U ,2024-04-26

[2]

一种圆管表面抛光用辅助夹持装置 [P].

吴瑢蓉 .

中国专利 :CN111872834A ,2020-11-03

[3]

一种硅片背面抛光用装置 [P].

洪育维 ;

吴泓明 ;

黄郁璇 ;

钟佑生 .

中国专利 :CN208289705U ,2018-12-28

[4]

一种金属表面抛光用抛光机 [P].

朱成业 .

中国专利 :CN213970553U ,2021-08-17

[5]

一种玻璃表面抛光用固定支架 [P].

陈丽碧 .

中国专利 :CN209936666U ,2020-01-14

[6]

一种硅片表面清洁装置 [P].

刘磊 ;

王小波 ;

郑强 .

中国专利 :CN216460370U ,2022-05-10

[7]

一种铣刀表面抛光用打磨装置 [P].

张志刚 .

中国专利 :CN215092873U ,2021-12-10

[8]

一种硅片背面抛光用装置及抛光方法 [P].

洪育维 ;

吴泓明 ;

黄郁璇 ;

钟佑生 .

中国专利 :CN108789163A ,2018-11-13

[9]

一种铝件表面抛光用研磨设备 [P].

宋雍 .

中国专利 :CN108857738A ,2018-11-23

[10]

一种铝件表面抛光用研磨设备 [P].

韩成锦 ;

吴瑞 ;

韩涵 ;

贾惠元 .

中国专利 :CN221792216U ,2024-10-01

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