一种硅片背面抛光用装置及抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810540018.9

申请日：

2018-05-30

公开(公告)号：

CN108789163A

公开(公告)日：

2018-11-13

发明(设计)人：

洪育维吴泓明黄郁璇钟佑生

申请人：

申请人地址：

450000 河南省郑州市航空港区郑港六路蓝山公馆202号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B24B37005 B24B3730 B24B3704 B24B722 C09G102

代理机构：

郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104

代理人：

时立新

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-13	公开	公开
2018-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20180530

共 50 条

[1]

一种硅片背面抛光用装置 [P].

洪育维 ;

吴泓明 ;

黄郁璇 ;

钟佑生 .

中国专利 :CN208289705U ,2018-12-28

[2]

一种硅片背面抛光方法 [P].

高勇 ;

顾冠义 .

中国专利 :CN106229375A ,2016-12-14

[3]

硅片抛光方法及装置 [P].

马驰 .

中国专利 :CN119658580A ,2025-03-21

[4]

一种硅片抛光方法及装置 [P].

陈波 ;

夏洋 ;

李楠 .

中国专利 :CN107154351B ,2017-09-12

[5]

一种单晶硅片背面抛光方法及硅片 [P].

韩雅楠 ;

刘海金 ;

庞瑞卿 ;

吕闯 ;

时宝 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN113539813B ,2021-10-22

[6]

一种硅片抛光装置 [P].

陈波 ;

夏洋 ;

李楠 .

中国专利 :CN107154366A ,2017-09-12

[7]

一种轴承抛光用磁力抛光装置及抛光方法 [P].

谭建丰 ;

章水旺 ;

周天朋 ;

邓仕洋 .

中国专利 :CN117943963A ,2024-04-30

[8]

一种硅片抛光用洗边装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN217822673U ,2022-11-15

[9]

一种硅片表面抛光用清洁装置 [P].

李长坤 ;

谢永奕 .

中国专利 :CN217451149U ,2022-09-20

[10]

一种抛光单晶硅片、抛光方法及抛光装置 [P].

张景 ;

吕合彬 ;

黎晓丰 ;

方蓉 ;

王进 .

中国专利 :CN120613261A ,2025-09-09

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