用于形成金属间隙填充物的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080027926.3

申请日：

2020-03-02

公开(公告)号：

CN113678231A

公开(公告)日：

2021-11-19

发明(设计)人：

岑羲马飞越吴凯雷雨大东和也徐翼维卡什·班西埃张镁任河雷蒙德·霍曼·洪姚雅宽阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯戴维·T·奥周静蹇国强林志周赖一鸣叶佳王振宇

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21285

IPC分类号：

C23C1414 C23C1434 C23C1402 H01L2128 H01L21306 H01L2167 C23C1404

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

用于形成金属间隙填充物的方法 [P].

岑羲 ;

马飞越 ;

吴凯 ;

雷雨 ;

大东和也 ;

徐翼 ;

维卡什·班西埃 ;

张镁 ;

任河 ;

雷蒙德·霍曼·洪 ;

姚雅宽 ;

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

戴维·T·奥 ;

周静 ;

蹇国强 ;

林志周 ;

赖一鸣 ;

叶佳 ;

王振宇 .

美国专利 :CN113678231B ,2025-03-18

[2]

用于形成具有低电阻率的金属间隙填充物的方法 [P].

徐翼 ;

雷雨 ;

亓智敏 ;

张爱西 ;

赵咸元 ;

雷伟 ;

高兴尧 ;

希里什语·A·佩特 ;

黄涛 ;

常翔 ;

帕特里克·博-均·李 ;

杰拉尔丁·瓦斯奎兹 ;

吴典晔 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN119895560A ,2025-04-25

[3]

一种消除金属间隙填充物中空洞的方法 [P].

朱骏 .

中国专利 :CN101635274A ,2010-01-27

[4]

金属间以及复合金属间隙填充物 [P].

A·F·格罗斯 ;

D·M·汉森 ;

S·可斯拉法尼 .

中国专利 :CN105857629A ,2016-08-17

[5]

用于金属间隙填充的方法 [P].

徐翼 ;

雷雨 ;

张爱西 ;

刘冰倩 ;

亓智敏 ;

雷伟 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN121079759A ,2025-12-05

[6]

用于除皱的填充物 [P].

李训范 .

中国专利 :CN103648436B ,2014-03-19

[7]

规则填充物、规则填充物用片材、规则填充物的制造方法 [P].

阿部匡悦 ;

吉本圭司 ;

铃木祐二 ;

原田阳一 .

中国专利 :CN110997095A ,2020-04-10

[8]

用于甜食的填充物和包含该填充物的甜食 [P].

A·拉兹迪斯 ;

D·斯托克斯 .

:CN121099914A ,2025-12-09

[9]

用于甜食的填充物和包含该填充物的甜食 [P].

A·拉兹迪斯 ;

D·斯托克斯 .

:CN120857867A ,2025-10-28

[10]

汽车座椅间隙填充物 [P].

杨泰平 ;

区智珍 .

中国专利 :CN308890735S ,2024-10-18

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/285 申请日:20200302
2021-11-19	公开	公开