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一种气体供应系统、方法以及气体供应装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110690679.1
申请日
:
2021-06-22
公开(公告)号
:
CN113309980B
公开(公告)日
:
2021-08-27
发明(设计)人
:
冯振华
刘宏伟
李宗峰
张聚乐
王珂
申请人
:
申请人地址
:
100094 北京市海淀区邓庄南路九号
IPC主分类号
:
F17C1308
IPC分类号
:
F17C1302
F17C1304
F17C700
F17C500
F17D102
F17D301
F17D500
代理机构
:
北京轻创知识产权代理有限公司 11212
代理人
:
吴佳
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-05-17
授权
授权
2021-08-27
公开
公开
共 50 条
[1]
气体供应装置以及气体供应方法
[P].
藤泽彰利
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藤泽彰利
;
名仓见治
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名仓见治
.
中国专利
:CN108139028B
,2018-06-08
[2]
气体供应系统
[P].
徐星杓
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徐星杓
;
郑迺汉
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郑迺汉
;
欧炳志
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欧炳志
.
中国专利
:CN112086334A
,2020-12-15
[3]
气体供应系统
[P].
金柾完
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金柾完
;
金省准
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金省准
.
中国专利
:CN113375055A
,2021-09-10
[4]
气体供应系统
[P].
林泰俊
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林泰俊
;
金志勋
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金志勋
;
姜泰旭
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姜泰旭
.
中国专利
:CN110785221A
,2020-02-11
[5]
气体供应系统
[P].
O·勒韦尔
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O·勒韦尔
;
M·弗勒纳
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M·弗勒纳
;
A·伯迪克
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A·伯迪克
.
中国专利
:CN211170883U
,2020-08-04
[6]
气体供应系统和气体供应方法以及加氢站
[P].
张旭
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张旭
;
戴文松
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戴文松
;
张奇
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张奇
;
蒋荣兴
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蒋荣兴
.
中国专利
:CN112923234A
,2021-06-08
[7]
气体供应系统及气体供应方法
[P].
管昌雨
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机构:
苏州中科重仪半导体材料有限公司
苏州中科重仪半导体材料有限公司
管昌雨
;
朱虹
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机构:
苏州中科重仪半导体材料有限公司
苏州中科重仪半导体材料有限公司
朱虹
;
陈浩
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机构:
苏州中科重仪半导体材料有限公司
苏州中科重仪半导体材料有限公司
陈浩
.
中国专利
:CN118705539B
,2024-12-10
[8]
气体供应系统及气体供应方法
[P].
管昌雨
论文数:
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机构:
苏州中科重仪半导体材料有限公司
苏州中科重仪半导体材料有限公司
管昌雨
;
朱虹
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0
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机构:
苏州中科重仪半导体材料有限公司
苏州中科重仪半导体材料有限公司
朱虹
;
陈浩
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机构:
苏州中科重仪半导体材料有限公司
苏州中科重仪半导体材料有限公司
陈浩
.
中国专利
:CN118705539A
,2024-09-27
[9]
一种气体供应系统及其气体供应方法
[P].
许灿
论文数:
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
许灿
;
陶珩
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
陶珩
.
中国专利
:CN118007098A
,2024-05-10
[10]
气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法
[P].
金柾完
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机构:
KC股份有限公司
KC股份有限公司
金柾完
;
金省准
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机构:
KC股份有限公司
KC股份有限公司
金省准
.
韩国专利
:CN113377135B
,2024-05-24
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