一种气体供应系统及其气体供应方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211392922.2

申请日：

2022-11-08

公开(公告)号：

CN118007098A

公开(公告)日：

2024-05-10

发明(设计)人：

许灿陶珩

申请人：

中微半导体设备（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

C23C16/448

IPC分类号：

C23C16/455 C23C16/44 C23C16/52 H01L21/67

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

包姝晴;张静洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/448申请日:20221108
2024-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

气体供应系统及气体供应方法 [P].

管昌雨 ;

朱虹 ;

陈浩 .

中国专利 :CN118705539A ,2024-09-27

[2]

气体供应系统及气体供应方法 [P].

管昌雨 ;

朱虹 ;

陈浩 .

中国专利 :CN118705539B ,2024-12-10

[3]

气体供应系统及其基片处理装置 [P].

许灿 ;

陶珩 .

中国专利 :CN218435942U ,2023-02-03

[4]

升华气体供应系统和升华气体供应方法 [P].

紫垣千佳 ;

石冢清香 ;

小浦辉政 ;

野泽史和 .

中国专利 :CN109154082A ,2019-01-04

[5]

气体供应系统和气体供应方法以及加氢站 [P].

张旭 ;

戴文松 ;

张奇 ;

蒋荣兴 .

中国专利 :CN112923234A ,2021-06-08

[6]

气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法 [P].

金柾完 ;

金省准 .

韩国专利 :CN113377135B ,2024-05-24

[7]

气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法 [P].

金柾完 ;

金省准 .

中国专利 :CN113377135A ,2021-09-10

[8]

气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法 [P].

金柾完 ;

金省准 .

中国专利 :CN113375053A ,2021-09-10

[9]

气体供应系统 [P].

范振华 .

中国专利 :CN201568737U ,2010-09-01

[10]

具有缓冲罐的升华气体供应系统和升华气体供应方法 [P].

小浦辉政 ;

张星永 ;

铃木清香 ;

鹈野千佳子 .

法国专利 :CN117769453A ,2024-03-26

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