一种调焦调平探测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810039661.X

申请日：

2008-06-26

公开(公告)号：

CN101344727B

公开(公告)日：

2009-01-14

发明(设计)人：

廖飞红李志丹李小平程吉水李志科

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-09-28	授权	授权
2017-07-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754735093 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL200810039661X 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更事项:共同专利权人变更前:华中科技大学变更后:华中科技大学
2009-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片调焦调平测量装置 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

廖飞红 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344734A ,2009-01-14

[2]

调焦调平测量装置及方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 .

中国专利 :CN107450287B ,2017-12-08

[3]

大量程调焦调平装置、方法及调焦调平检测方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119472190A ,2025-02-18

[4]

调焦调平检测装置 [P].

魏礼俊 ;

张冲 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102043352A ,2011-05-04

[5]

一种调焦调平检测装置 [P].

李小平 ;

陈飞彪 ;

李志丹 ;

关俊 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN100456134C ,2005-10-05

[6]

调焦调平测量装置 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102129183B ,2011-07-20

[7]

调焦调平系统、调焦调平方法及曝光装置 [P].

张雨 ;

邢奕飞 ;

王晓庆 ;

鲁珅 .

中国专利 :CN120447315A ,2025-08-08

[8]

一种调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

吴卫军 ;

陈飞彪 ;

李欣欣 .

中国专利 :CN106647174A ,2017-05-10

[9]

一种调焦调平检测装置及方法 [P].

田湍 ;

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

魏礼俊 .

中国专利 :CN102298278A ,2011-12-28

[10]

一种调焦调平检测装置 [P].

刁雷 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103913953A ,2014-07-09

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