调焦调平测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010022991.5

申请日：

2010-01-19

公开(公告)号：

CN102129183B

公开(公告)日：

2011-07-20

发明(设计)人：

卢丽荣李志丹陈飞彪

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101102911675 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2010100229915 申请日:20100119
2014-05-21	授权	授权
2011-07-20	公开	公开
2017-07-21	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755650251 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2010100229915 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

共 50 条

[1]

调焦调平测量装置 [P].

杨宣华 ;

朱振朋 ;

袁明波 ;

唐江锋 ;

蓝科 ;

刁雷 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN117666288A ,2024-03-08

[2]

调焦调平测量装置及方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 .

中国专利 :CN107450287B ,2017-12-08

[3]

一种硅片调焦调平测量装置 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

廖飞红 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344734A ,2009-01-14

[4]

一种调焦调平测量装置 [P].

马晓晴 ;

陈飞彪 ;

鲁武旺 ;

李志丹 .

中国专利 :CN103365097A ,2013-10-23

[5]

一种调焦调平测量装置 [P].

章富平 ;

陈飞彪 ;

张冲 ;

李中秋 .

中国专利 :CN102789135A ,2012-11-21

[6]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749808A ,2012-10-24

[7]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749816B ,2012-10-24

[8]

一种调焦调平传感器测量装置 [P].

宗明成 ;

李世光 ;

王丹 ;

魏志国 ;

武志鹏 ;

孙裕文 .

中国专利 :CN104181777B ,2014-12-03

[9]

一种调焦调平探测装置及方法 [P].

廖飞红 ;

李志丹 ;

李小平 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344727B ,2009-01-14

[10]

双扫描式硅片调焦调平测量装置及系统 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

尹作海 .

中国专利 :CN101329513B ,2008-12-24

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