一种调焦调平测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210083279.5

申请日：

2012-03-27

公开(公告)号：

CN103365097A

公开(公告)日：

2013-10-23

发明(设计)人：

马晓晴陈飞彪鲁武旺李志丹

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F7207 G03F900

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-23	公开	公开
2015-06-17	授权	授权
2017-12-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2013-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101542138729 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012100832795 申请日:20120327

共 50 条

[1]

调焦调平测量装置 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102129183B ,2011-07-20

[2]

调焦调平测量装置 [P].

杨宣华 ;

朱振朋 ;

袁明波 ;

唐江锋 ;

蓝科 ;

刁雷 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN117666288A ,2024-03-08

[3]

一种调焦调平测量装置 [P].

章富平 ;

陈飞彪 ;

张冲 ;

李中秋 .

中国专利 :CN102789135A ,2012-11-21

[4]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749808A ,2012-10-24

[5]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749816B ,2012-10-24

[6]

一种硅片调焦调平测量装置 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

廖飞红 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344734A ,2009-01-14

[7]

调焦调平测量装置及方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 .

中国专利 :CN107450287B ,2017-12-08

[8]

一种调焦调平传感器测量装置 [P].

宗明成 ;

李世光 ;

王丹 ;

魏志国 ;

武志鹏 ;

孙裕文 .

中国专利 :CN104181777B ,2014-12-03

[9]

一种调焦调平测量系统及其校准方法 [P].

杨宣华 ;

陈楠鹏 ;

王海江 .

中国专利 :CN106933072A ,2017-07-07

[10]

一种调平测量装置 [P].

孙少华 ;

江南 ;

沈雁 ;

顾青 ;

范红雨 .

中国专利 :CN201170713Y ,2008-12-24

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