一种调焦调平测量系统及其校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511025832.X

申请日：

2015-12-30

公开(公告)号：

CN106933072A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

杨宣华陈楠鹏王海江

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-15	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759228288 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:201511025832X 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更事项:申请人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738370180 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:201511025832X 申请日:20151230
2017-07-07	公开	公开
2019-07-23	授权	授权

共 50 条

[1]

调焦调平测量系统及其测量方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28

[2]

一种调焦调平测量系统 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101169601A ,2008-04-30

[3]

调焦调平测量系统及方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101201548A ,2008-06-18

[4]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749808A ,2012-10-24

[5]

一种硅片调焦调平测量装置 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

廖飞红 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344734A ,2009-01-14

[6]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749816B ,2012-10-24

[7]

一种高精度调焦调平测量系统 [P].

李艳丽 ;

严伟 ;

冯金花 ;

王建 .

中国专利 :CN105242501A ,2016-01-13

[8]

调焦调平测量装置及方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 .

中国专利 :CN107450287B ,2017-12-08

[9]

一种调焦调平测量方法及测量系统 [P].

李琛毅 ;

李世光 ;

钟志坚 .

中国专利 :CN115185161B ,2025-10-03

[10]

调焦调平测量装置 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102129183B ,2011-07-20

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