一种高精度调焦调平测量系统

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专利类型
发明
申请号
CN201510762399.1
申请日
2015-11-10
公开(公告)号
CN105242501A
公开(公告)日
2016-01-13
发明(设计)人
李艳丽 严伟 冯金花 王建
申请人
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
G03F900
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种调焦调平测量系统 [P]. 
关俊 .
中国专利 :CN101169601A ,2008-04-30
[2]
调焦调平测量系统及方法 [P]. 
关俊 .
中国专利 :CN101201548A ,2008-06-18
[3]
调焦调平测量系统及其测量方法 [P]. 
关俊 .
中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28
[4]
一种调焦调平测量系统及其校准方法 [P]. 
杨宣华 ;
陈楠鹏 ;
王海江 .
中国专利 :CN106933072A ,2017-07-07
[5]
提高调焦调平测量精度的方法 [P]. 
陈飞彪 .
中国专利 :CN101609264B ,2009-12-23
[6]
一种调焦调平测量方法及测量系统 [P]. 
李琛毅 ;
李世光 ;
钟志坚 .
中国专利 :CN115185161B ,2025-10-03
[7]
调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置 [P]. 
吴树福 ;
章富平 ;
陈飞彪 ;
王海江 ;
程海林 ;
唐平玉 .
中国专利 :CN203069860U ,2013-07-17
[8]
一种用于调焦调平系统的测量方法 [P]. 
程雪 ;
李志丹 ;
陈飞彪 ;
潘炼东 .
中国专利 :CN102736430B ,2012-10-17
[9]
用于调焦调平测量系统的零位调整装置 [P]. 
严兵 ;
陈飞彪 ;
张冲 ;
贾翔 .
中国专利 :CN102252606B ,2011-11-23
[10]
一种高精度测量系统 [P]. 
李晓艳 ;
李永怀 ;
高原 ;
周中亚 ;
宋伟铭 ;
李润峰 .
中国专利 :CN113542732A ,2021-10-22