一种调焦调平测量方法及测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110357191.7

申请日：

2021-04-01

公开(公告)号：

CN115185161B

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

李琛毅李世光钟志坚

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

谷波

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

调焦调平测量系统及其测量方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28

[2]

一种调焦调平测量方法 [P].

乔海洋 ;

张青云 ;

王帆 .

中国专利 :CN103926799B ,2014-07-16

[3]

调焦调平测量系统及方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101201548A ,2008-06-18

[4]

一种用于调焦调平系统的测量方法 [P].

程雪 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN102736430B ,2012-10-17

[5]

一种调焦调平测量系统 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101169601A ,2008-04-30

[6]

一种调焦调平测量方法和装置 [P].

匡翠方 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN100535767C ,2008-04-30

[7]

用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法 [P].

李志丹 ;

程雪 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103365096B ,2013-10-23

[8]

一种尿酸测量系统及测量方法 [P].

余春丽 ;

汤定中 ;

刘琨 ;

姚卫国 .

中国专利 :CN120114052A ,2025-06-10

[9]

一种尿酸测量系统及测量方法 [P].

余春丽 ;

汤定中 ;

刘琨 ;

姚卫国 .

中国专利 :CN120114052B ,2025-08-08

[10]

一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法 [P].

张洪伟 ;

陈卫宁 ;

史魁 ;

杨洪涛 .

中国专利 :CN108680093A ,2018-10-19

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