一种用于调焦调平系统的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110086825.6

申请日：

2011-04-07

公开(公告)号：

CN102736430B

公开(公告)日：

2012-10-17

发明(设计)人：

程雪李志丹陈飞彪潘炼东

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-17	公开	公开
2017-12-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
2014-08-20	授权	授权
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101363525034 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011100868256 申请日:20110407

共 50 条

[1]

用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法 [P].

李志丹 ;

程雪 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103365096B ,2013-10-23

[2]

调焦调平测量系统及其测量方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28

[3]

一种调焦调平测量方法 [P].

乔海洋 ;

张青云 ;

王帆 .

中国专利 :CN103926799B ,2014-07-16

[4]

一种调焦调平测量方法及测量系统 [P].

李琛毅 ;

李世光 ;

钟志坚 .

中国专利 :CN115185161B ,2025-10-03

[5]

一种调焦调平测量方法和装置 [P].

匡翠方 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN100535767C ,2008-04-30

[6]

一种调焦调平系统及其调焦调平方法 [P].

王晓庆 ;

王福亮 .

中国专利 :CN106933070A ,2017-07-07

[7]

一种高精度调焦调平测量系统 [P].

李艳丽 ;

严伟 ;

冯金花 ;

王建 .

中国专利 :CN105242501A ,2016-01-13

[8]

一种调焦调平系统 [P].

齐景超 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103969961A ,2014-08-06

[9]

调焦调平光斑水平位置的测量方法 [P].

王帆 ;

段立峰 ;

李志丹 .

中国专利 :CN101183222B ,2008-05-21

[10]

基于瞳面调制的垂向测量方法、调焦调平系统及曝光装置 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

刘逍 ;

贾婷媛 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN118981149B ,2025-03-07

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