用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210083277.6

申请日：

2012-03-27

公开(公告)号：

CN103365096B

公开(公告)日：

2013-10-23

发明(设计)人：

李志丹程雪陈飞彪

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 G01B1100

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2013-10-23	公开	公开
2015-05-13	授权	授权
2013-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101542138547 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012100832776 申请日:20120327

共 50 条

[1]

用于光刻设备的调焦调平系统 [P].

唐平玉 ;

房晓俊 .

中国专利 :CN104950583A ,2015-09-30

[2]

调焦调平系统、调焦调平方法及光刻设备 [P].

张雨 ;

彭俊 ;

王晓庆 ;

邢奕飞 .

中国专利 :CN118276423A ,2024-07-02

[3]

光源装置、调焦调平系统及光刻设备 [P].

毛静超 ;

周媛红 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN209028412U ,2019-06-25

[4]

一种用于调焦调平系统的测量方法 [P].

程雪 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN102736430B ,2012-10-17

[5]

调焦调平测量系统及其测量方法 [P].

关俊 .

中国专利 :CN101187783A ,2008-05-28

[6]

兼顾对准和调焦调平的测量系统及其测量方法和光刻机 [P].

张成爽 ;

潘炼东 ;

于大维 .

中国专利 :CN108008607B ,2018-05-08

[7]

用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法 [P].

唐平玉 ;

陈飞彪 ;

徐荣伟 ;

刁雷 .

中国专利 :CN104375383B ,2015-02-25

[8]

测量系统及其测量方法、光刻设备 [P].

杨晨 ;

朱金台 ;

刘美娇 ;

高丹妮 ;

任文然 .

中国专利 :CN119717404A ,2025-03-28

[9]

一种调焦调平测量方法及测量系统 [P].

李琛毅 ;

李世光 ;

钟志坚 .

中国专利 :CN115185161B ,2025-10-03

[10]

调焦调平系统及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN119535901A ,2025-02-28

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