光源装置、调焦调平系统及光刻设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822001948.5

申请日：

2018-11-30

公开(公告)号：

CN209028412U

公开(公告)日：

2019-06-25

发明(设计)人：

毛静超周媛红庄亚政孙建超

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

调焦调平系统、调焦调平方法及光刻设备 [P].

张雨 ;

彭俊 ;

王晓庆 ;

邢奕飞 .

中国专利 :CN118276423A ,2024-07-02

[2]

用于光刻设备的调焦调平系统 [P].

唐平玉 ;

房晓俊 .

中国专利 :CN104950583A ,2015-09-30

[3]

调焦调平系统及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN119535901A ,2025-02-28

[4]

用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法 [P].

李志丹 ;

程雪 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103365096B ,2013-10-23

[5]

用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法 [P].

唐平玉 ;

陈飞彪 ;

徐荣伟 ;

刁雷 .

中国专利 :CN104375383B ,2015-02-25

[6]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

[7]

调焦调平系统、调焦调平方法及曝光装置 [P].

张雨 ;

邢奕飞 ;

王晓庆 ;

鲁珅 .

中国专利 :CN120447315A ,2025-08-08

[8]

调焦调平系统、光学设备及调焦调平方法 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN117518724A ,2024-02-06

[9]

一种调焦调平装置、调焦调平方法及光刻设备 [P].

王晓庆 ;

王海江 ;

庄亚政 .

中国专利 :CN110376846A ,2019-10-25

[10]

一种调焦调平系统、方法及光刻机 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN113138546B ,2021-07-20

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