用于光刻设备的调焦调平系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410110020.4

申请日：

2014-03-24

公开(公告)号：

CN104950583A

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

唐平玉房晓俊

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	公开	公开
2017-08-25	授权	授权
2017-09-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759973438 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2014101100204 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631730347 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014101100204 申请日:20140324

共 50 条

[1]

调焦调平系统、调焦调平方法及光刻设备 [P].

张雨 ;

彭俊 ;

王晓庆 ;

邢奕飞 .

中国专利 :CN118276423A ,2024-07-02

[2]

光源装置、调焦调平系统及光刻设备 [P].

毛静超 ;

周媛红 ;

庄亚政 ;

孙建超 .

中国专利 :CN209028412U ,2019-06-25

[3]

用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法 [P].

李志丹 ;

程雪 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103365096B ,2013-10-23

[4]

用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法 [P].

唐平玉 ;

陈飞彪 ;

徐荣伟 ;

刁雷 .

中国专利 :CN104375383B ,2015-02-25

[5]

调焦调平系统及光刻机 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN119535901A ,2025-02-28

[6]

光刻设备、用于调平物体的方法以及光刻投影方法 [P].

P·G·W·布辛克 ;

A·J·A·布鲁恩斯莫 ;

H·J·M·梅杰尔 .

中国专利 :CN101918898B ,2010-12-15

[7]

用于光刻设备的调平调焦装置 [P].

赵娟 ;

方洁 ;

吴立伟 .

中国专利 :CN104062854B ,2014-09-24

[8]

调焦调平系统、光学设备及调焦调平方法 [P].

彭俊 ;

张雨 ;

王晓庆 .

中国专利 :CN117518724A ,2024-02-06

[9]

一种光刻机用调焦调平系统及其调焦调平方法 [P].

唐平玉 ;

王海江 ;

张启天 .

中国专利 :CN105807571A ,2016-07-27

[10]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

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