提高调焦调平测量精度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910055388.4

申请日：

2009-07-24

公开(公告)号：

CN101609264B

公开(公告)日：

2009-12-23

发明(设计)人：

陈飞彪

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 H01L21027

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-30	授权	授权
2010-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-07-28	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756252533 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2009100553884 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2009-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高精度调焦调平测量系统 [P].

李艳丽 ;

严伟 ;

冯金花 ;

王建 .

中国专利 :CN105242501A ,2016-01-13

[2]

用于光刻设备的调焦调平系统及测量方法 [P].

李志丹 ;

程雪 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN103365096B ,2013-10-23

[3]

大量程调焦调平装置、方法及调焦调平检测方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119472190A ,2025-02-18

[4]

一种调焦调平装置、光刻机及调焦调平的方法 [P].

季桂林 .

中国专利 :CN111061128A ,2020-04-24

[5]

一种调焦调平传感器测量装置 [P].

宗明成 ;

李世光 ;

王丹 ;

魏志国 ;

武志鹏 ;

孙裕文 .

中国专利 :CN104181777B ,2014-12-03

[6]

兼顾对准和调焦调平的测量系统及其测量方法和光刻机 [P].

张成爽 ;

潘炼东 ;

于大维 .

中国专利 :CN108008607B ,2018-05-08

[7]

一种测量范围可扩展的调焦调平装置及调焦调平方法 [P].

潘炼东 ;

李志丹 ;

陈飞彪 ;

张冲 .

中国专利 :CN102033438A ,2011-04-27

[8]

调焦调平光斑水平位置的测量方法 [P].

王帆 ;

段立峰 ;

李志丹 .

中国专利 :CN101183222B ,2008-05-21

[9]

调焦调平装置及方法 [P].

唐平玉 .

中国专利 :CN106933071A ,2017-07-07

[10]

一种调焦调平检测装置 [P].

李小平 ;

陈飞彪 ;

李志丹 ;

关俊 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN100456134C ,2005-10-05

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