一种调焦调平测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110098237.4

申请日：

2011-04-19

公开(公告)号：

CN102749816B

公开(公告)日：

2012-10-24

发明(设计)人：

张冲陈飞彪李志丹

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 9/00 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101367518968 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2011100982374 申请日:20110419
2012-10-24	公开	公开
2015-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749808A ,2012-10-24

[2]

一种硅片调焦调平测量装置 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

廖飞红 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344734A ,2009-01-14

[3]

调焦调平测量装置 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102129183B ,2011-07-20

[4]

调焦调平测量装置 [P].

杨宣华 ;

朱振朋 ;

袁明波 ;

唐江锋 ;

蓝科 ;

刁雷 ;

陈雪影 .

中国专利 :CN117666288A ,2024-03-08

[5]

一种调焦调平测量装置 [P].

马晓晴 ;

陈飞彪 ;

鲁武旺 ;

李志丹 .

中国专利 :CN103365097A ,2013-10-23

[6]

一种调焦调平测量装置 [P].

章富平 ;

陈飞彪 ;

张冲 ;

李中秋 .

中国专利 :CN102789135A ,2012-11-21

[7]

调焦调平测量装置及方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 .

中国专利 :CN107450287B ,2017-12-08

[8]

一种调焦调平传感器测量装置 [P].

宗明成 ;

李世光 ;

王丹 ;

魏志国 ;

武志鹏 ;

孙裕文 .

中国专利 :CN104181777B ,2014-12-03

[9]

一种调焦调平测量系统及其校准方法 [P].

杨宣华 ;

陈楠鹏 ;

王海江 .

中国专利 :CN106933072A ,2017-07-07

[10]

调焦调平检测装置 [P].

魏礼俊 ;

张冲 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102043352A ,2011-05-04

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