调焦调平测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211056384.X

申请日：

2022-08-31

公开(公告)号：

CN117666288A

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

杨宣华朱振朋袁明波唐江锋蓝科刁雷陈雪影

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

卢云芊

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	公开	公开
2024-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220831

共 50 条

[1]

调焦调平测量装置 [P].

卢丽荣 ;

李志丹 ;

陈飞彪 .

中国专利 :CN102129183B ,2011-07-20

[2]

调焦调平测量装置及方法 [P].

程琦 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 .

中国专利 :CN107450287B ,2017-12-08

[3]

一种调焦调平测量装置 [P].

马晓晴 ;

陈飞彪 ;

鲁武旺 ;

李志丹 .

中国专利 :CN103365097A ,2013-10-23

[4]

一种调焦调平测量装置 [P].

章富平 ;

陈飞彪 ;

张冲 ;

李中秋 .

中国专利 :CN102789135A ,2012-11-21

[5]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749808A ,2012-10-24

[6]

一种调焦调平测量装置 [P].

张冲 ;

陈飞彪 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102749816B ,2012-10-24

[7]

一种硅片调焦调平测量装置 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

廖飞红 ;

程吉水 ;

李志科 .

中国专利 :CN101344734A ,2009-01-14

[8]

一种调焦调平传感器测量装置 [P].

宗明成 ;

李世光 ;

王丹 ;

魏志国 ;

武志鹏 ;

孙裕文 .

中国专利 :CN104181777B ,2014-12-03

[9]

双扫描式硅片调焦调平测量装置及系统 [P].

陈飞彪 ;

李志丹 ;

潘炼东 ;

尹作海 .

中国专利 :CN101329513B ,2008-12-24

[10]

一种调焦调平测量系统及其校准方法 [P].

杨宣华 ;

陈楠鹏 ;

王海江 .

中国专利 :CN106933072A ,2017-07-07

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