碳化硅器件的欧姆接触测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410669159.2

申请日：

2014-11-20

公开(公告)号：

CN104316771B

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

张永平辛帅王浩王硕

申请人：

申请人地址：

201204 上海市浦东新区张江高科技园区张衡路200号1号楼2楼

IPC主分类号：

G01R2714

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

俞涤炯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599916416 IPC(主分类):G01R 27/14 专利申请号:2014106691592 申请日:20141120
2015-01-28	公开	公开
2017-07-28	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅器件非合金欧姆接触的制作方法及碳化硅器件 [P].

刘相伍 ;

谭永亮 ;

周国 ;

闫锐 ;

崔玉兴 .

中国专利 :CN109524298A ,2019-03-26

[2]

碳化硅衬底上制备欧姆接触电极的方法 [P].

张永平 ;

辛帅 ;

戴伟忠 ;

舒畅 .

中国专利 :CN104409341B ,2015-03-11

[3]

适用于高温的碳化硅欧姆接触制作方法及碳化硅功率器件 [P].

谭永亮 ;

张力江 ;

默江辉 ;

杨中月 ;

李亮 .

中国专利 :CN109524456A ,2019-03-26

[4]

一种碳化硅欧姆接触制备方法及碳化硅器件制备方法 [P].

张良关 ;

蒋正勇 .

中国专利 :CN119811989A ,2025-04-11

[5]

碳化硅欧姆接触的制备方法 [P].

汤晓燕 ;

李彦良 ;

何艳静 ;

张艺蒙 ;

宋庆文 .

中国专利 :CN107993926A ,2018-05-04

[6]

降低碳化硅电阻的背面欧姆接触中间体及碳化硅器件 [P].

李俊 .

中国专利 :CN220963240U ,2024-05-14

[7]

一种碳化硅器件的正面欧姆接触的加工方法 [P].

何钧 ;

李昀佶 ;

倪炜江 ;

高怡瑞 ;

牛喜平 .

中国专利 :CN105470119B ,2016-04-06

[8]

一种碳化硅PiN器件的欧姆接触方法 [P].

史晶晶 ;

李诚瞻 ;

吴佳 ;

杨程 ;

刘国友 ;

刘可安 .

中国专利 :CN105244267A ,2016-01-13

[9]

一种碳化硅器件背面欧姆接触的快速退火方法 [P].

李理 ;

陈刚 ;

柏松 ;

陶永洪 .

中国专利 :CN102768946A ,2012-11-07

[10]

一种碳化硅器件背面欧姆接触的制作方法 [P].

周正东 ;

李诚瞻 ;

刘可安 ;

刘国友 ;

史晶晶 ;

吴佳 ;

杨程 .

中国专利 :CN105448673A ,2016-03-30

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