适用于高温的碳化硅欧姆接触制作方法及碳化硅功率器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811377428.2
申请日
2018-11-19
公开(公告)号
CN109524456A
公开(公告)日
2019-03-26
发明(设计)人
谭永亮 张力江 默江辉 杨中月 李亮
申请人
申请人地址
050051 河北省石家庄市合作路113号
IPC主分类号
H01L2916
IPC分类号
H01L2945 H01L21324
代理机构
石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人
赵宝琴
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
碳化硅器件非合金欧姆接触的制作方法及碳化硅器件 [P]. 
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谭永亮 ;
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[2]
碳化硅高温退火表面保护的制作方法及碳化硅功率器件 [P]. 
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胡泽先 ;
刘亚亮 ;
秦龙 ;
张力江 .
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[3]
碳化硅功率器件及其制作方法 [P]. 
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[4]
碳化硅功率器件及碳化硅功率器件的制备方法 [P]. 
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[5]
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罗曦溪 .
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
碳化硅功率器件结终端结构及制造方法、碳化硅功率器件 [P]. 
贺冠中 .
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