具有脱开的电气和机械探针连接部的MEMS探针卡组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880067856.7

申请日：

2018-10-30

公开(公告)号：

CN111247437A

公开(公告)日：

2020-06-05

发明(设计)人：

M·塞尔瓦拉 J·基斯特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G01R1067

IPC分类号：

G01R1073 G01R300

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

顾峻峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 1/067 申请日:20181030

共 50 条

[1]

具有成角度探针的MEMS探针卡 [P].

夸梅·安蓬萨 ;

梅赫梅特·奥兹多甘 ;

谭思睿 .

中国专利 :CN114008467A ,2022-02-01

[2]

MEMS探针卡组件 [P].

张敏 ;

彭琳杰 ;

郭小芳 .

中国专利 :CN223193000U ,2025-08-05

[3]

探针卡和具有探针卡的测试设备 [P].

安奎重 .

韩国专利 :CN113156173B ,2024-09-20

[4]

探针卡和具有探针卡的测试设备 [P].

安奎重 .

中国专利 :CN113156173A ,2021-07-23

[5]

探针卡组件和将探针粘连至该探针卡组件的方法 [P].

巴哈德尔·图纳博伊卢 ;

哈比卜·卡利察斯兰 .

中国专利 :CN101151539A ,2008-03-26

[6]

使用探针的立式探针卡组件 [P].

大久保昌男 ;

大久保和正 ;

岩田浩 .

中国专利 :CN1129797C ,1997-09-10

[7]

探针块和具有该探针块的探针卡以及探针装置 [P].

小笠原崇 ;

山口宪荣 .

中国专利 :CN103091520A ,2013-05-08

[8]

探针和包括该探针的探针卡 [P].

李晟熏 ;

金秉住 ;

李美礼 ;

余晃进 ;

李泰钟 .

中国专利 :CN110888039A ,2020-03-17

[9]

探针卡组件及其中的探针座 [P].

易继铭 .

中国专利 :CN101865938A ,2010-10-20

[10]

包括检测探针的探针卡制造方法和探针卡、探针卡检查系统 [P].

李瀚茂 .

中国专利 :CN101762723A ,2010-06-30

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