MEMS探针卡组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422108510.2

申请日：

2024-08-29

公开(公告)号：

CN223193000U

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

张敏彭琳杰郭小芳

申请人：

盛华微纳科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区唯亭亭东路55号厂房4号楼5楼西侧

IPC主分类号：

G01R1/067

IPC分类号：

G01R1/073 G01R31/28

代理机构：

成都明涛智创专利代理有限公司 51289

代理人：

蔡玉东

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS探针卡 [P].

赵梁玉 ;

王艾琳 .

中国专利 :CN111766418B ,2020-10-13

[2]

一种MEMS探针卡 [P].

孙锐锋 ;

刘志广 ;

刘俊 .

中国专利 :CN215066849U ,2021-12-07

[3]

一种MEMS探针卡 [P].

殷伟 .

中国专利 :CN221826916U ,2024-10-11

[4]

探针卡组件 [P].

谢东宪 .

中国专利 :CN114720735A ,2022-07-08

[5]

具有成角度探针的MEMS探针卡 [P].

夸梅·安蓬萨 ;

梅赫梅特·奥兹多甘 ;

谭思睿 .

中国专利 :CN114008467A ,2022-02-01

[6]

一种薄膜式MEMS探针卡 [P].

刘红军 ;

朱佳年 .

中国专利 :CN221303397U ,2024-07-09

[7]

薄膜探针卡组件 [P].

余圣洋 ;

梁建 ;

罗雄科 .

中国专利 :CN115616260A ,2023-01-17

[8]

薄膜探针卡组件 [P].

余圣洋 ;

梁建 ;

罗雄科 .

中国专利 :CN115616260B ,2024-02-23

[9]

探针卡组件和将探针粘连至该探针卡组件的方法 [P].

巴哈德尔·图纳博伊卢 ;

哈比卜·卡利察斯兰 .

中国专利 :CN101151539A ,2008-03-26

[10]

具有脱开的电气和机械探针连接部的MEMS探针卡组件 [P].

M·塞尔瓦拉 ;

J·基斯特 .

中国专利 :CN111247437A ,2020-06-05

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