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全自动目检机的晶圆检测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010762127.2
申请日：
2020-07-31
公开(公告)号：
CN111863671A
公开(公告)日：
2020-10-30
发明(设计)人：
颜博
申请人：
申请人地址：
215200 江苏省苏州市吴江区太湖新城中山南路568号兰生沃德威互联网产业园25幢101-1
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2166
H01L21683
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
方中
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-30 | 公开 | 公开 |
| 2020-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200731 |