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晶圆的台面结构自动外检机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411471121.4
申请日：
2024-10-22
公开(公告)号：
CN118983235A
公开(公告)日：
2024-11-19
发明(设计)人：
方廷宇
许忠信
申请人：
山东强茂电子科技有限公司
申请人地址：
255000 山东省淄博市高新区中润大道186号
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01B21/18
G01B5/00
代理机构：
济南泉城专利商标事务所 37218
代理人：
耿媛媛
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-17 | 授权 | 授权 |
| 2024-12-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241022 |
| 2024-11-19 | 公开 | 公开 |