一种等离子体处理装置气体供应系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023250816.X

申请日：

2020-12-29

公开(公告)号：

CN213936113U

公开(公告)日：

2021-08-10

发明(设计)人：

马冬叶连增迪陈煌琳

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

徐雯琼;张静洁

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种等离子体处理装置气体供应系统 [P].

马冬叶 ;

连增迪 ;

陈煌琳 .

中国专利 :CN114688457B ,2024-05-14

[2]

一种等离子体处理装置气体供应系统 [P].

马冬叶 ;

连增迪 ;

陈煌琳 .

中国专利 :CN114688457A ,2022-07-01

[3]

气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置 [P].

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN112928008A ,2021-06-08

[4]

气体供应装置及等离子体处理装置 [P].

张亦涛 ;

左涛涛 ;

倪图强 .

中国专利 :CN104103484B ,2014-10-15

[5]

气体导流环、气体供应装置及等离子体处理装置 [P].

谢小兵 ;

王俊 ;

刘身健 .

中国专利 :CN105529237B ,2016-04-27

[6]

等离子体处理装置 [P].

凌复华 ;

刘忆军 ;

吴凤丽 ;

姜崴 ;

葛研 ;

郑旭东 .

中国专利 :CN103632998A ,2014-03-12

[7]

等离子体处理装置 [P].

李孝忠 ;

黄庆德 ;

戴嘉宏 ;

陈虹瑞 ;

赖宏裕 .

中国专利 :CN1501763A ,2004-06-02

[8]

等离子体处理用气体、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

末田一行 ;

笹仓昌浩 ;

山本凌音 ;

角川舞 .

中国专利 :CN115699264A ,2023-02-03

[9]

一种等离子体处理装置及气体供应方法 [P].

魏强 .

中国专利 :CN114121585A ,2022-03-01

[10]

等离子体处理方法、等离子体处理装置以及等离子体处理系统 [P].

米泽隆宏 ;

熊仓翔 .

中国专利 :CN115513044A ,2022-12-23

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