等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310602849.1

申请日：

2013-11-22

公开(公告)号：

CN103632998A

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

凌复华刘忆军吴凤丽姜崴葛研郑旭东

申请人：

申请人地址：

110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229

代理人：

甄玉荃

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	公开	公开
2021-03-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:沈阳拓荆科技有限公司变更后:拓荆科技股份有限公司变更事项:地址变更前:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层变更后:110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581312225 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013106028491 申请日:20131122
2016-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

李孝忠 ;

黄庆德 ;

戴嘉宏 ;

陈虹瑞 ;

赖宏裕 .

中国专利 :CN1501763A ,2004-06-02

[2]

等离子体处理装置 [P].

大见忠弘 ;

平山昌树 ;

后藤哲也 .

中国专利 :CN1533596A ,2004-09-29

[3]

等离子体处理装置 [P].

大见忠弘 ;

平山昌树 ;

须川成利 ;

后藤哲也 .

中国专利 :CN1460286A ,2003-12-03

[4]

等离子体处理装置 [P].

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN114121581A ,2022-03-01

[5]

等离子体处理装置 [P].

蒋方亮 ;

吴际 ;

尚阳 ;

蒋镇 .

中国专利 :CN210743912U ,2020-06-12

[6]

等离子体处理装置 [P].

堀口将人 ;

辻本宏 ;

北泽贵 .

中国专利 :CN102262999A ,2011-11-30

[7]

等离子体处理装置 [P].

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN114121581B ,2024-04-05

[8]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 .

中国专利 :CN101908460A ,2010-12-08

[9]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

石川拓 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101622698B ,2010-01-06

[10]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

大木达也 ;

小泽亘 ;

深泽公博 ;

金谷和博 .

中国专利 :CN102737945B ,2012-10-17

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