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一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法

被引：0
申请号：
CN202210411842.0
申请日：
2022-04-19
公开(公告)号：
CN114852954A
公开(公告)日：
2022-08-05
发明(设计)人：
陈学贤 伊翔 邹丽丽 谭凯月
申请人：
申请人地址：
510316 广东省广州市海珠区江海大道中(原石榴岗路10号)
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
黎扬鹏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-05 公开 公开
2022-08-23 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20220419
共 50 条
[1]
一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法 [P]. 
陈学贤 ;
伊翔 ;
邹丽丽 ;
谭凯月 .
中国专利 :CN114852954B ,2024-04-02
[2]
一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P]. 
张敏敏 ;
福克斯·斯蒂芬 ;
任朋 ;
陈彭 ;
黄彪辉 .
中国专利 :CN109666972A ,2019-04-23
[3]
一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P]. 
张敏敏 ;
福克斯·斯蒂芬 ;
任朋 ;
陈彭 ;
黄彪辉 .
中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26
[4]
一种单晶硅表面金字塔塔底圆化结构的制备方法 [P]. 
张敏敏 ;
赵亮 ;
吴疆波 ;
宰建陶 ;
钱雪峰 .
中国专利 :CN119776985A ,2025-04-08
[5]
一种单晶硅表面平顶金字塔绒面的制备方法 [P]. 
张敏敏 ;
赵亮 ;
吴疆波 ;
宰建陶 ;
钱雪峰 .
中国专利 :CN119767857A ,2025-04-04
[6]
一种在单晶硅衬底上制备金字塔阵列的方法 [P]. 
董刚强 ;
刘丰珍 .
中国专利 :CN103112816A ,2013-05-22
[7]
单晶硅金字塔结构绒面的优化方法 [P]. 
吴俊清 ;
樊华 ;
贾泰 ;
从海泉 .
中国专利 :CN107675263A ,2018-02-09
[8]
一种具有金字塔叠加结构的单晶硅片及制备方法 [P]. 
杜俊霖 ;
韩安军 ;
孙林 ;
付昊鑫 .
中国专利 :CN111180538A ,2020-05-19
[9]
单晶硅正金字塔周期阵列结构绒面制备方法及其应用 [P]. 
于天宝 ;
王茜茜 .
中国专利 :CN107881561A ,2018-04-06
[10]
单晶硅制绒添加剂及其制备方法、单晶硅制绒方法、具有金字塔的硅片 [P]. 
王婕 .
中国专利 :CN119465413A ,2025-02-18
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