一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811593574.9

申请日：

2018-12-25

公开(公告)号：

CN109666972A

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

张敏敏福克斯·斯蒂芬任朋陈彭黄彪辉

申请人：

申请人地址：

314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906 H01L3118 H01L310236

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

罗满

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	公开	公开
2022-01-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190423
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20181225

共 50 条

[1]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26

[2]

一种单晶硅表面平顶金字塔绒面的制备方法 [P].

张敏敏 ;

赵亮 ;

吴疆波 ;

宰建陶 ;

钱雪峰 .

中国专利 :CN119767857A ,2025-04-04

[3]

单晶硅金字塔结构绒面的优化方法 [P].

吴俊清 ;

樊华 ;

贾泰 ;

从海泉 .

中国专利 :CN107675263A ,2018-02-09

[4]

一种单晶硅基倒金字塔绒面的干湿混合制备方法 [P].

黄增光 ;

高锟 ;

刘莹 ;

范源 ;

史承静 .

中国专利 :CN111864013A ,2020-10-30

[5]

在单晶硅表面制备均匀倒金字塔绒面的湿化学方法 [P].

杨立功 ;

孙霞 ;

符黎明 .

中国专利 :CN105070772A ,2015-11-18

[6]

一种用于单晶硅倒金字塔酸性制绒液 [P].

潘炯彬 ;

罗俊涛 ;

王鑫 ;

吴冰 ;

张震华 .

中国专利 :CN119433721A ,2025-02-14

[7]

湿法激光单晶硅嵌入式倒金字塔绒面制备 [P].

吕爱武 ;

鲁贵林 ;

赵科巍 ;

张波 ;

杨飞飞 ;

张尧 ;

杜泽霖 ;

李陈阳 ;

郭丽 ;

吕涛 ;

董建明 ;

邓铭 .

中国专利 :CN110629290A ,2019-12-31

[8]

单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法 [P].

季凌飞 ;

吕晓占 ;

吴燕 ;

凌晨 ;

胡炎 ;

蒋毅坚 ;

王世贤 .

中国专利 :CN103426736A ,2013-12-04

[9]

一种倒金字塔形单晶绒面的制备方法 [P].

王涛 .

中国专利 :CN109994558A ,2019-07-09

[10]

一种调控金刚线单晶硅片金字塔绒面的方法 [P].

刘晓兵 ;

沈柔泰 ;

赵福祥 .

中国专利 :CN112428462A ,2021-03-02

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