一种单晶硅基倒金字塔绒面的干湿混合制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010686313.2

申请日：

2020-07-16

公开(公告)号：

CN111864013A

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

黄增光高锟刘莹范源史承静

申请人：

申请人地址：

222000 江苏省连云港市高新区苍梧路59号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21306 H01L21308 H01L310236

代理机构：

连云港润知专利代理事务所 32255

代理人：

刘喜莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20200716
2020-10-30	公开	公开
2022-12-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20201030

共 50 条

[1]

在单晶硅表面制备均匀倒金字塔绒面的湿化学方法 [P].

杨立功 ;

孙霞 ;

符黎明 .

中国专利 :CN105070772A ,2015-11-18

[2]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26

[3]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109666972A ,2019-04-23

[4]

单晶硅基类倒金字塔绒面结构的扩散方法 [P].

霍亭亭 ;

赵保星 ;

魏青竹 ;

倪志春 ;

连维飞 ;

苗凤秀 ;

胡党平 .

中国专利 :CN110112260A ,2019-08-09

[5]

单晶硅金字塔结构绒面的优化方法 [P].

吴俊清 ;

樊华 ;

贾泰 ;

从海泉 .

中国专利 :CN107675263A ,2018-02-09

[6]

一种单晶硅表面平顶金字塔绒面的制备方法 [P].

张敏敏 ;

赵亮 ;

吴疆波 ;

宰建陶 ;

钱雪峰 .

中国专利 :CN119767857A ,2025-04-04

[7]

一种用于单晶硅倒金字塔酸性制绒液 [P].

潘炯彬 ;

罗俊涛 ;

王鑫 ;

吴冰 ;

张震华 .

中国专利 :CN119433721A ,2025-02-14

[8]

单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法 [P].

季凌飞 ;

吕晓占 ;

吴燕 ;

凌晨 ;

胡炎 ;

蒋毅坚 ;

王世贤 .

中国专利 :CN103426736A ,2013-12-04

[9]

一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法 [P].

沈文忠 ;

钟思华 ;

王闻捷 ;

谭杪 ;

庄宇峰 .

中国专利 :CN106521635A ,2017-03-22

[10]

湿法激光单晶硅嵌入式倒金字塔绒面制备 [P].

吕爱武 ;

鲁贵林 ;

赵科巍 ;

张波 ;

杨飞飞 ;

张尧 ;

杜泽霖 ;

李陈阳 ;

郭丽 ;

吕涛 ;

董建明 ;

邓铭 .

中国专利 :CN110629290A ,2019-12-31

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