在单晶硅表面制备均匀倒金字塔绒面的湿化学方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510550406.1

申请日：

2015-09-01

公开(公告)号：

CN105070772A

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

杨立功孙霞符黎明

申请人：

申请人地址：

213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

IPC主分类号：

H01L310236

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/0236 变更事项:专利权人变更前:常州时创能源科技有限公司变更后:常州时创能源股份有限公司变更事项:地址变更前:213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号变更后:213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
2015-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101637744072 IPC(主分类):H01L 31/0236 专利申请号:2015105504061 申请日:20150901
2017-07-04	授权	授权
2015-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种单晶硅基倒金字塔绒面的干湿混合制备方法 [P].

黄增光 ;

高锟 ;

刘莹 ;

范源 ;

史承静 .

中国专利 :CN111864013A ,2020-10-30

[2]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26

[3]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109666972A ,2019-04-23

[4]

一种单晶硅表面平顶金字塔绒面的制备方法 [P].

张敏敏 ;

赵亮 ;

吴疆波 ;

宰建陶 ;

钱雪峰 .

中国专利 :CN119767857A ,2025-04-04

[5]

单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法 [P].

季凌飞 ;

吕晓占 ;

吴燕 ;

凌晨 ;

胡炎 ;

蒋毅坚 ;

王世贤 .

中国专利 :CN103426736A ,2013-12-04

[6]

单晶硅基类倒金字塔绒面结构的扩散方法 [P].

霍亭亭 ;

赵保星 ;

魏青竹 ;

倪志春 ;

连维飞 ;

苗凤秀 ;

胡党平 .

中国专利 :CN110112260A ,2019-08-09

[7]

单晶硅金字塔结构绒面的优化方法 [P].

吴俊清 ;

樊华 ;

贾泰 ;

从海泉 .

中国专利 :CN107675263A ,2018-02-09

[8]

一种用于单晶硅倒金字塔酸性制绒液 [P].

潘炯彬 ;

罗俊涛 ;

王鑫 ;

吴冰 ;

张震华 .

中国专利 :CN119433721A ,2025-02-14

[9]

湿法激光单晶硅嵌入式倒金字塔绒面制备 [P].

吕爱武 ;

鲁贵林 ;

赵科巍 ;

张波 ;

杨飞飞 ;

张尧 ;

杜泽霖 ;

李陈阳 ;

郭丽 ;

吕涛 ;

董建明 ;

邓铭 .

中国专利 :CN110629290A ,2019-12-31

[10]

晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

杨立功 ;

袁丽娟 ;

王伟亮 .

中国专利 :CN109888030A ,2019-06-14

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