一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811593574.9

申请日：

2018-12-25

公开(公告)号：

CN109666972A

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

张敏敏福克斯·斯蒂芬任朋陈彭黄彪辉

申请人：

申请人地址：

314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906 H01L3118 H01L310236

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

罗满

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	公开	公开
2022-01-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190423
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20181225

共 50 条

[21]

一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法 [P].

沈文忠 ;

钟思华 ;

王闻捷 ;

谭杪 ;

庄宇峰 .

中国专利 :CN106521635A ,2017-03-22

[22]

一种单晶硅表面金字塔塔底圆化结构的制备方法 [P].

张敏敏 ;

赵亮 ;

吴疆波 ;

宰建陶 ;

钱雪峰 .

中国专利 :CN119776985A ,2025-04-08

[23]

制备多层金字塔单晶硅绒面的两步制绒添加剂及其应用 [P].

李侠 ;

张鹏伟 ;

张新鹏 ;

殷政 ;

冯萍萍 .

中国专利 :CN113529173A ,2021-10-22

[24]

晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

杨立功 ;

袁丽娟 ;

王伟亮 .

中国专利 :CN109888030A ,2019-06-14

[25]

一种硅片表面的倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

李绍元 ;

魏永强 ;

马文会 ;

陈秀华 ;

席风硕 ;

吕国强 ;

陈正杰 ;

于洁 .

中国专利 :CN115579409A ,2023-01-06

[26]

一种制备单晶硅绒面的方法 [P].

杜建国 ;

张东 ;

励旭东 ;

王春燕 .

中国专利 :CN102108557A ,2011-06-29

[27]

一种具有双峰金字塔绒面结构的单晶硅片 [P].

蔡国华 .

中国专利 :CN108221050A ,2018-06-29

[28]

一种用于N型单晶硅的大尺寸倒金字塔结构制绒方法 [P].

彭晓晨 ;

候成成 ;

管自生 .

中国专利 :CN110970531A ,2020-04-07

[29]

一种晶体硅倒金字塔结构湿法制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114678448A ,2022-06-28

[30]

一种制备细密金字塔单晶硅绒面的复合制绒液添加剂配方 [P].

张丽 ;

陈婉君 ;

卢建红 ;

阎建辉 ;

杨海华 ;

邓小梅 ;

王迎益 ;

刘襄 .

中国专利 :CN110644056B ,2020-01-03

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