一种硅片表面的倒金字塔绒面结构的制备方法

被引：0

申请号：

CN202211382346.3

申请日：

2022-11-07

公开(公告)号：

CN115579409A

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

李绍元魏永强马文会陈秀华席风硕吕国强陈正杰于洁

申请人：

申请人地址：

650000 云南省昆明市一二一大街文昌路68号

IPC主分类号：

H01L310236

IPC分类号：

H01L3118 H01L3106

代理机构：

北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732

代理人：

张宁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	公开	公开
2023-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0236 申请日:20221107

共 50 条

[1]

晶体硅片表面金字塔绒面制备方法 [P].

彭奎庆 ;

付昊鑫 ;

霍晨亮 .

中国专利 :CN109599458A ,2019-04-09

[2]

一种硅片表面倒金字塔结构的制备方法 [P].

刘静 ;

伊福廷 ;

张天冲 ;

王波 ;

张新帅 ;

孙钢杰 .

中国专利 :CN104538283A ,2015-04-22

[3]

一种制备具有正金字塔/倒金字塔复合结构硅片的方法 [P].

朱雨富 ;

周雷 ;

林岳宾 ;

刘磊 ;

董育伟 ;

姜海林 ;

周广宏 .

中国专利 :CN109378363A ,2019-02-22

[4]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26

[5]

晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

杨立功 ;

袁丽娟 ;

王伟亮 .

中国专利 :CN109888030A ,2019-06-14

[6]

一种金刚线切割单晶硅片的倒金字塔结构制绒方法 [P].

彭晓晨 ;

管自生 ;

万鹏 .

中国专利 :CN111041562A ,2020-04-21

[7]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109666972A ,2019-04-23

[8]

一种硅片及其表面倒金字塔结构制备方法 [P].

王东 ;

金井升 ;

熊诗龙 ;

赵迎财 .

中国专利 :CN111341884A ,2020-06-26

[9]

倒金字塔绒面及太阳能电池的制备方法 [P].

邱家梁 ;

周肃 ;

黄惜惜 ;

黄青松 ;

贾佳 ;

张鑫义 ;

勾宪芳 ;

黄国平 .

中国专利 :CN109659380A ,2019-04-19

[10]

制备梯田金字塔微结构硅片的添加剂和工艺及所得硅片 [P].

张鹏伟 ;

冯萍萍 ;

张新鹏 ;

章浩然 ;

王婕 .

中国专利 :CN114990700A ,2022-09-02

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