一种硅片表面倒金字塔结构的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410797643.3

申请日：

2014-12-18

公开(公告)号：

CN104538283A

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

刘静伊福廷张天冲王波张新帅孙钢杰

申请人：

申请人地址：

100049 北京市石景山区玉泉路19号乙

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20150422
2015-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609912141 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2014107976433 申请日:20141218
2015-04-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片及其表面倒金字塔结构制备方法 [P].

王东 ;

金井升 ;

熊诗龙 ;

赵迎财 .

中国专利 :CN111341884A ,2020-06-26

[2]

一种硅片表面的倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

李绍元 ;

魏永强 ;

马文会 ;

陈秀华 ;

席风硕 ;

吕国强 ;

陈正杰 ;

于洁 .

中国专利 :CN115579409A ,2023-01-06

[3]

一种制备具有正金字塔/倒金字塔复合结构硅片的方法 [P].

朱雨富 ;

周雷 ;

林岳宾 ;

刘磊 ;

董育伟 ;

姜海林 ;

周广宏 .

中国专利 :CN109378363A ,2019-02-22

[4]

一种湿法腐蚀晶体硅倒金字塔结构和正金字塔结构制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114808144A ,2022-07-29

[5]

一种多晶硅表面倒金字塔结构及其制备方法 [P].

蒲天 ;

罗旌旺 ;

吴兢 ;

芮春保 .

中国专利 :CN105428434A ,2016-03-23

[6]

一种多晶硅表面倒金字塔结构及其制备方法 [P].

蒲天 ;

罗旌旺 ;

吴兢 ;

芮春保 .

中国专利 :CN105047734A ,2015-11-11

[7]

倒金字塔结构组合的吸热屋顶 [P].

张铭耀 ;

杨龙辉 ;

李哲宇 ;

吴宇烽 ;

张迈 ;

张翔 .

中国专利 :CN207228499U ,2018-04-13

[8]

一种具有倒金字塔结构模板的制备方法 [P].

傅欣欣 .

中国专利 :CN103579416A ,2014-02-12

[9]

一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法 [P].

王富国 ;

张俊彦 .

中国专利 :CN104733302B ,2015-06-24

[10]

一种晶体硅倒金字塔结构湿法制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114678448A ,2022-06-28

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