一种多晶硅表面倒金字塔结构及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610005713.6
申请日
2016-01-05
公开(公告)号
CN105428434A
公开(公告)日
2016-03-23
发明(设计)人
蒲天 罗旌旺 吴兢 芮春保
申请人
申请人地址
210061 江苏省南京市浦口高新开发区星火路1号
IPC主分类号
H01L310236
IPC分类号
代理机构
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人
董建林
法律状态
授权
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共 50 条
[1]
一种多晶硅表面倒金字塔结构及其制备方法 [P]. 
蒲天 ;
罗旌旺 ;
吴兢 ;
芮春保 .
中国专利 :CN105047734A ,2015-11-11
[2]
一种硅片及其表面倒金字塔结构制备方法 [P]. 
王东 ;
金井升 ;
熊诗龙 ;
赵迎财 .
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[3]
一种硅片表面倒金字塔结构的制备方法 [P]. 
刘静 ;
伊福廷 ;
张天冲 ;
王波 ;
张新帅 ;
孙钢杰 .
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[4]
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[5]
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[6]
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乔芬 ;
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[7]
一种晶体硅倒金字塔结构湿法制绒方法 [P]. 
霍晨亮 .
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[8]
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孙波 ;
李寅 ;
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[9]
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傅欣欣 .
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[10]
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张铭耀 ;
杨龙辉 ;
李哲宇 ;
吴宇烽 ;
张迈 ;
张翔 .
中国专利 :CN207228499U ,2018-04-13