一种具有倒金字塔结构模板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310545347.X

申请日：

2013-11-06

公开(公告)号：

CN103579416A

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

傅欣欣

申请人：

申请人地址：

214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310236

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

李媛媛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-09	授权	授权
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578338588 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:201310545347X 申请日:20131106
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种湿法腐蚀晶体硅倒金字塔结构和正金字塔结构制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114808144A ,2022-07-29

[2]

一种硅片表面倒金字塔结构的制备方法 [P].

刘静 ;

伊福廷 ;

张天冲 ;

王波 ;

张新帅 ;

孙钢杰 .

中国专利 :CN104538283A ,2015-04-22

[3]

倒金字塔结构组合的吸热屋顶 [P].

张铭耀 ;

杨龙辉 ;

李哲宇 ;

吴宇烽 ;

张迈 ;

张翔 .

中国专利 :CN207228499U ,2018-04-13

[4]

一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法 [P].

陈敏 ;

陈弟虎 ;

何振辉 ;

莫康信 .

中国专利 :CN102864414A ,2013-01-09

[5]

一种硅片及其表面倒金字塔结构制备方法 [P].

王东 ;

金井升 ;

熊诗龙 ;

赵迎财 .

中国专利 :CN111341884A ,2020-06-26

[6]

具有微金字塔结构的PDMS薄膜制备方法及PDMS薄膜 [P].

孟康康 ;

薄国豪 ;

徐晓光 ;

姜勇 .

中国专利 :CN120039821A ,2025-05-27

[7]

一种制备具有正金字塔/倒金字塔复合结构硅片的方法 [P].

朱雨富 ;

周雷 ;

林岳宾 ;

刘磊 ;

董育伟 ;

姜海林 ;

周广宏 .

中国专利 :CN109378363A ,2019-02-22

[8]

一种晶体硅倒金字塔结构湿法制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114678448A ,2022-06-28

[9]

倒金字塔结构的背接触电池及其制备方法 [P].

孙波 ;

李寅 ;

毕明轩 .

中国专利 :CN120813103A ,2025-10-17

[10]

一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法 [P].

王富国 ;

张俊彦 .

中国专利 :CN104733302B ,2015-06-24

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