一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210397968.3

申请日：

2012-10-18

公开(公告)号：

CN102864414A

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

陈敏陈弟虎何振辉莫康信

申请人：

申请人地址：

510275 广东省广州市海珠区新港西路135号中山大学，物理科学与工程技术学院

IPC主分类号：

C23C1414

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

广州新诺专利商标事务所有限公司 44100

代理人：

张玲春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397917884 IPC(主分类):C23C 14/14 专利申请号:2012103979683 申请日:20121018
2022-09-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/14 申请日:20121018 授权公告日:20140402 终止日期:20211018
2013-01-09	公开	公开
2014-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

具有微金字塔结构的PDMS薄膜制备方法及PDMS薄膜 [P].

孟康康 ;

薄国豪 ;

徐晓光 ;

姜勇 .

中国专利 :CN120039821A ,2025-05-27

[2]

一种具有倒金字塔结构模板的制备方法 [P].

傅欣欣 .

中国专利 :CN103579416A ,2014-02-12

[3]

具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法 [P].

张晓丹 ;

赵颖 ;

焦宝臣 ;

魏长春 ;

耿新华 ;

熊绍珍 .

中国专利 :CN101562216A ,2009-10-21

[4]

一种硅片表面倒金字塔结构的制备方法 [P].

刘静 ;

伊福廷 ;

张天冲 ;

王波 ;

张新帅 ;

孙钢杰 .

中国专利 :CN104538283A ,2015-04-22

[5]

一种具有金字塔结构侧壁的MiniLED芯片制作方法 [P].

崔慧 ;

胡建 ;

吴蕾 .

中国专利 :CN115064617A ,2022-09-16

[6]

一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法 [P].

季凌飞 ;

林真源 ;

吴燕 ;

吕晓占 ;

闫胤洲 ;

蒋毅坚 .

中国专利 :CN104195644B ,2014-12-10

[7]

一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法 [P].

杜俊霖 ;

刘正新 ;

孟凡英 ;

付昊鑫 ;

孙林 .

中国专利 :CN111403503A ,2020-07-10

[8]

一种金字塔结构的充气帐篷 [P].

叶仲彬 .

中国专利 :CN217897474U ,2022-11-25

[9]

一种金字塔结构的养生房 [P].

朱宣志 ;

敖玉林 .

中国专利 :CN210813546U ,2020-06-23

[10]

一种具有金字塔结构的散热片 [P].

何明泰 .

中国专利 :CN221123141U ,2024-06-11

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