一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410361090.7

申请日：

2014-07-27

公开(公告)号：

CN104195644B

公开(公告)日：

2014-12-10

发明(设计)人：

季凌飞林真源吴燕吕晓占闫胤洲蒋毅坚

申请人：

申请人地址：

100124 北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B3304 C30B2906

代理机构：

北京思海天达知识产权代理有限公司 11203

代理人：

刘萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101594583855 IPC(主分类):C30B 33/10 专利申请号:2014103610907 申请日:20140727
2014-12-10	公开	公开
2016-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

单晶硅金字塔结构绒面的优化方法 [P].

吴俊清 ;

樊华 ;

贾泰 ;

从海泉 .

中国专利 :CN107675263A ,2018-02-09

[2]

一种基于单晶硅衬底上多孔金字塔结构的制造方法 [P].

夏洋 ;

刘邦武 ;

李超波 ;

刘杰 ;

李勇滔 ;

陈瑶 ;

沈泽南 .

中国专利 :CN102140697A ,2011-08-03

[3]

一种在单晶硅衬底上制备金字塔阵列的方法 [P].

董刚强 ;

刘丰珍 .

中国专利 :CN103112816A ,2013-05-22

[4]

一种表面具有平滑金字塔结构的太阳能电池单晶硅衬底的制备方法 [P].

齐立敏 ;

武传雷 ;

何银 ;

杜国平 .

中国专利 :CN102593247A ,2012-07-18

[5]

一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法 [P].

杜俊霖 ;

刘正新 ;

孟凡英 ;

付昊鑫 ;

孙林 .

中国专利 :CN111403503A ,2020-07-10

[6]

一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法 [P].

陈敏 ;

陈弟虎 ;

何振辉 ;

莫康信 .

中国专利 :CN102864414A ,2013-01-09

[7]

一种倒金字塔结构塔基的单晶硅碱抛光添加剂及其应用 [P].

周佳栋 ;

平凤 ;

赵晶 ;

王洁宇 ;

张震华 .

中国专利 :CN119490794A ,2025-02-21

[8]

一种用于N型单晶硅的正金字塔结构的添加剂制备方法 [P].

彭晓晨 .

中国专利 :CN111394797A ,2020-07-10

[9]

一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法 [P].

陈学贤 ;

伊翔 ;

邹丽丽 ;

谭凯月 .

中国专利 :CN114852954A ,2022-08-05

[10]

一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法 [P].

陈学贤 ;

伊翔 ;

邹丽丽 ;

谭凯月 .

中国专利 :CN114852954B ,2024-04-02

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