一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811593574.9

申请日：

2018-12-25

公开(公告)号：

CN109666972A

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

张敏敏福克斯·斯蒂芬任朋陈彭黄彪辉

申请人：

申请人地址：

314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906 H01L3118 H01L310236

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

罗满

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	公开	公开
2022-01-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190423
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20181225

共 50 条

[41]

晶体硅表面倒金字塔的制备方法 [P].

薛艳龙 ;

李剑 ;

包卫锋 ;

顾生刚 ;

杨二存 .

中国专利 :CN109545890A ,2019-03-29

[42]

一种晶硅表面亚微米金字塔绒面的制备方法 [P].

钟思华 ;

钱程 ;

吴泽昊 ;

许蓉 .

中国专利 :CN120035257A ,2025-05-23

[43]

一种非光刻技术制备倒金字塔结构硅表面的方法 [P].

王富国 ;

张俊彦 .

中国专利 :CN104733302B ,2015-06-24

[44]

一种具有圆角金字塔结构的单晶硅片及制备方法 [P].

杜俊霖 ;

刘正新 ;

孟凡英 ;

付昊鑫 ;

孙林 .

中国专利 :CN111403503A ,2020-07-10

[45]

改善单晶硅片金字塔绒面均匀性制备方法及太阳能电池 [P].

刘俊稳 ;

张大荣 ;

沈健锋 ;

崔美丽 ;

赵福祥 .

中国专利 :CN113061991A ,2021-07-02

[46]

一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法 [P].

李一鸣 ;

吴冰 ;

张震华 .

中国专利 :CN113913188A ,2022-01-11

[47]

一种多晶硅表面金字塔绒面的刻蚀方法 [P].

梁启超 ;

乔芬 ;

杨健 .

中国专利 :CN108400201A ,2018-08-14

[48]

一种单晶硅片绒面的制备方法 [P].

陈刚 ;

陈春 .

中国专利 :CN107217307A ,2017-09-29

[49]

单晶硅太阳电池绒面的制备方法 [P].

徐晓群 ;

孙励斌 ;

李华维 ;

殷海亭 ;

陈斌 ;

甘旭 ;

黄岳文 ;

唐则祁 ;

胡宏勋 .

中国专利 :CN101431124A ,2009-05-13

[50]

制绒方法、单晶硅片及单晶硅太阳电池 [P].

丁超 ;

童洪波 ;

李华 ;

刘继宇 .

中国专利 :CN112652671A ,2021-04-13

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