晶体硅表面倒金字塔的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811345978.6

申请日：

2018-11-13

公开(公告)号：

CN109545890A

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

薛艳龙李剑包卫锋顾生刚杨二存

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市新建区望城新区璜溪大道688号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310236 C30B3312

代理机构：

常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233

代理人：

沈毅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20181113
2021-03-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190329
2019-03-29	公开	公开

共 50 条

[1]

晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

杨立功 ;

袁丽娟 ;

王伟亮 .

中国专利 :CN109888030A ,2019-06-14

[2]

晶体硅片表面金字塔绒面制备方法 [P].

彭奎庆 ;

付昊鑫 ;

霍晨亮 .

中国专利 :CN109599458A ,2019-04-09

[3]

一种晶体硅倒金字塔结构湿法制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114678448A ,2022-06-28

[4]

在单晶硅表面制备均匀倒金字塔绒面的湿化学方法 [P].

杨立功 ;

孙霞 ;

符黎明 .

中国专利 :CN105070772A ,2015-11-18

[5]

晶体硅制绒添加剂、晶体硅制绒剂以及晶体硅倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

孙纵横 ;

张小虎 ;

陈伟 ;

刘尧平 ;

王燕 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114921251A ,2022-08-19

[6]

一种湿法腐蚀晶体硅倒金字塔结构和正金字塔结构制绒方法 [P].

霍晨亮 .

中国专利 :CN114808144A ,2022-07-29

[7]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109666972A ,2019-04-23

[8]

一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26

[9]

一种硅片表面的倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

李绍元 ;

魏永强 ;

马文会 ;

陈秀华 ;

席风硕 ;

吕国强 ;

陈正杰 ;

于洁 .

中国专利 :CN115579409A ,2023-01-06

[10]

单晶硅基类倒金字塔绒面结构的扩散方法 [P].

霍亭亭 ;

赵保星 ;

魏青竹 ;

倪志春 ;

连维飞 ;

苗凤秀 ;

胡党平 .

中国专利 :CN110112260A ,2019-08-09

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