硅晶体工件平整度检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720280938.2

申请日：

2017-03-22

公开(公告)号：

CN207395703U

公开(公告)日：

2018-05-22

发明(设计)人：

卢建伟蒋伟源李鑫

申请人：

申请人地址：

201601 上海市松江区泗泾镇九干路1358号

IPC主分类号：

G01B2130

IPC分类号：

代理机构：

上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309

代理人：

张明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-22	授权	授权
2018-08-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01B 21/30 登记生效日:20180803 变更事项:专利权人变更前权利人:海宁市日进科技有限公司变更后权利人:浙江集英精密机器有限公司变更事项:地址变更前权利人:314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区施带路17号内4幢变更后权利人:314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路128号6号楼
2018-06-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01B 21/30 登记生效日:20180517 变更事项:专利权人变更前权利人:上海日进机床有限公司变更后权利人:海宁市日进科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201601 上海市松江区泗泾镇九干路1358号变更后权利人:314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区施带路17号内4幢

共 50 条

[1]

硅晶体工件平整度检测装置和硅晶体工件平整度检测方法 [P].

卢建伟 ;

蒋伟源 ;

李鑫 .

中国专利 :CN106940178A ,2017-07-11

[2]

工件表面平整度检测装置 [P].

姜龙明 .

中国专利 :CN203083514U ,2013-07-24

[3]

工件平整度检测装置 [P].

李亮 ;

田兆明 ;

张新泉 ;

杨涛 .

中国专利 :CN220931949U ,2024-05-10

[4]

平整度检测装置 [P].

杨建锋 ;

彭杰 ;

许荣荣 ;

熊伊强 .

中国专利 :CN222964636U ,2025-06-10

[5]

工件平整度检测方法及装置 [P].

钟金生 .

中国专利 :CN105547199A ,2016-05-04

[6]

工件平整度检测装置及其检测方法 [P].

张正峰 ;

武旭东 ;

周振文 .

中国专利 :CN115014265A ,2022-09-06

[7]

一种工件表面平整度检测装置 [P].

宣白云 .

中国专利 :CN206430679U ,2017-08-22

[8]

抹灰平整度检测装置 [P].

肖芬 ;

陈洋 ;

曾国兵 ;

李玉明 ;

杨双 .

中国专利 :CN120176519A ,2025-06-20

[9]

道路平整度检测装置 [P].

麦均持 ;

张悦超 ;

陈嘉奇 ;

许志辉 .

中国专利 :CN222205951U ,2024-12-20

[10]

PET平整度检测装置 [P].

胡日红 ;

吴晓雷 ;

杨利东 ;

周荃 .

中国专利 :CN223077634U ,2025-07-08

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