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二次谐波表征方法、基于其的表征光学系统及检测装置

被引：0
申请号：
CN202210249154.9
申请日：
2022-03-14
公开(公告)号：
CN114577726A
公开(公告)日：
2022-06-03
发明(设计)人：
王然 李博 王磊 张喆 张昆鹏 赵泓达 岳嵩 张学文 张紫辰
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
G01N2101
IPC分类号：
G01N2188 G01N2195
代理机构：
北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667
代理人：
赵永刚
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-03 公开 公开
2022-06-21 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/01 申请日:20220314
共 50 条
[1]
二次谐波表征方法、基于其的表征光学系统及检测装置 [P]. 
王然 ;
李博 ;
王磊 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577726B ,2025-09-02
[2]
二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577727A ,2022-06-03
[3]
二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577727B ,2025-03-21
[4]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
赵泓达 ;
张昆鹏 ;
张喆 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577728A ,2022-06-03
[5]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577729B ,2024-09-20
[6]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577729A ,2022-06-03
[7]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张昆鹏 ;
张喆 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577725A ,2022-06-03
[8]
基于二次谐波的表征设备 [P]. 
李博 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
王然 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN118039515A ,2024-05-14
[9]
光学系统的表征 [P]. 
克劳斯·埃尔曼 ;
亚瑟·霍 .
中国专利 :CN101646382A ,2010-02-10
[10]
基于二次谐波的表征设备 [P]. 
赵泓达 ;
王磊 ;
李博 ;
王然 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN118039516A ,2024-05-14
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