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二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210249155.3
申请日：
2022-03-14
公开(公告)号：
CN114577727B
公开(公告)日：
2025-03-21
发明(设计)人：
王然 赵泓达 王磊 张学文 李博 张喆 张昆鹏 岳嵩 张紫辰
申请人：
中国科学院微电子研究所
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
G01N21/01
IPC分类号：
G01N21/88 G01N21/95
代理机构：
北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667
代理人：
赵永刚
法律状态：
授权
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-21 授权 授权
共 50 条
[1]
二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577727A ,2022-06-03
[2]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
赵泓达 ;
张昆鹏 ;
张喆 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577728A ,2022-06-03
[3]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577729B ,2024-09-20
[4]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577729A ,2022-06-03
[5]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张昆鹏 ;
张喆 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577725A ,2022-06-03
[6]
二次谐波表征方法、基于其的表征光学系统及检测装置 [P]. 
王然 ;
李博 ;
王磊 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577726A ,2022-06-03
[7]
二次谐波表征方法、基于其的表征光学系统及检测装置 [P]. 
王然 ;
李博 ;
王磊 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577726B ,2025-09-02
[8]
基于二次谐波的表征设备 [P]. 
李博 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
王然 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN118039515A ,2024-05-14
[9]
基于二次谐波的表征设备 [P]. 
赵泓达 ;
王磊 ;
李博 ;
王然 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN118039516A ,2024-05-14
[10]
二次光学系统 [P]. 
李锦辉 .
中国专利 :CN101699146A ,2010-04-28
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