一种氧化铪基铁电薄膜、电容结构、晶体管及制备方法

被引：0

申请号：

CN202210585655.4

申请日：

2022-05-26

公开(公告)号：

CN114988470A

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

周益春包克瑜曾斌建廖佳佳廖敏

申请人：

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号

IPC主分类号：

C01G2702

IPC分类号：

H01L4902

代理机构：

北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489

代理人：

张鑫垚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01G 27/02 申请日:20220526
2022-09-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铪基铁电薄膜、电容结构、晶体管及制备方法 [P].

周益春 ;

包克瑜 ;

曾斌建 ;

廖佳佳 ;

廖敏 .

中国专利 :CN114988470B ,2024-04-05

[2]

一种氧化铪基铁电电容器、铁电薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

屈丹丹 ;

陶瑞强 ;

吴吉洋 .

中国专利 :CN120456569A ,2025-08-08

[3]

一种柔性透明氧化铪基铁电薄膜晶体管及其制备方法 [P].

姜杰 ;

刘文燕 ;

周益春 ;

廖敏 .

中国专利 :CN109256420A ,2019-01-22

[4]

氧化铪基铁电薄膜和氧化铪基铁电薄膜制备方法 [P].

廖敏 ;

戴思维 ;

郇延伟 ;

刘晨 ;

曾斌建 ;

周益春 .

中国专利 :CN112151602A ,2020-12-29

[5]

一种氧化铪基铁电栅场效应晶体管及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 ;

郇延伟 .

中国专利 :CN109950316B ,2019-06-28

[6]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN113948520A ,2022-01-18

[7]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN109935589A ,2019-06-25

[8]

一种氧化铪基铁电电容及其制备方法 [P].

廖敏 ;

曾斌建 ;

周益春 ;

廖佳佳 ;

彭强祥 .

中国专利 :CN113948520B ,2025-01-10

[9]

一种氧化铪基铁电薄膜及其制备方法 [P].

郑帅至 ;

彭朝 ;

曾斌建 ;

廖敏 ;

刘洲洋 .

中国专利 :CN118510285A ,2024-08-16

[10]

一种氧化铪基铁电薄膜电容器及其制备方法 [P].

陆旭兵 ;

张岩 ;

帅文韬 .

中国专利 :CN114360929A ,2022-04-15

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