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上下料机（管式PECVD）
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201230515873.8
申请日：
2012-10-26
公开(公告)号：
CN302373035S
公开(公告)日：
2013-03-27
发明(设计)人：
王燕清
周昕
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新区国家技术开发区新锡路20号
IPC主分类号：
1599
IPC分类号：
代理机构：
无锡市大为专利商标事务所 32104
代理人：
刘品超
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-03-27 | 授权 | 授权 |
| 2022-11-11 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 主分类号:15-99 申请日:20121026 授权公告日:20130327 |
| 2016-02-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727943046 主分类号:15-99 专利号:ZL2012305158738 变更事项:专利权人 变更前:无锡先导自动化设备股份有限公司 变更后:无锡先导智能装备股份有限公司 变更事项:地址 变更前:214028 江苏省无锡市新区国家技术开发区新锡路20号 变更后:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新锡路20号 |