微波离子源及其启动方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410053592.3

申请日：

2014-02-17

公开(公告)号：

CN103996591B

公开(公告)日：

2014-08-20

发明(设计)人：

高桥伸明村田裕彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J2716

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

徐殿军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-15	授权	授权
2014-08-20	公开	公开
2014-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586965335 IPC(主分类):H01J 27/16 专利申请号:2014100535923 申请日:20140217

共 50 条

[1]

激光微波离子源 [P].

明建川 ;

明艺函 .

中国专利 :CN109712858B ,2019-05-03

[2]

微波离子源 [P].

崔保群 ;

蒋渭生 ;

李立强 ;

马鹰俊 ;

姜冲 ;

唐兵 ;

马瑞刚 .

中国专利 :CN100580858C ,2007-04-11

[3]

离子源及其清洁方法 [P].

足立昌和 ;

平井裕也 ;

谷口智哉 .

中国专利 :CN111640639A ,2020-09-08

[4]

离子源及其清洁方法 [P].

足立昌和 ;

平井裕也 ;

谷口智哉 .

日本专利 :CN111640639B ,2024-03-22

[5]

久保田尚树 ;

堀田哲广 .

中国专利 :CN1876894A ,2006-12-13

[6]

离子源、操作离子源的方法、以及离子源系统 [P].

木山俊昭 .

中国专利 :CN1461036A ,2003-12-10

[7]

微波驱动的等离子体离子源 [P].

M·坦纳 .

中国专利 :CN115380628A ,2022-11-22

[8]

ECR离子源及操作ECR离子源的方法 [P].

亚历山德拉·菲利普 .

中国专利 :CN111916329A ,2020-11-10

[9]

离子源及其运行方法 [P].

宫本直树 .

中国专利 :CN1353443A ,2002-06-12

[10]

一种微波离子源 [P].

崔保群 ;

蒋渭生 ;

唐兵 ;

马瑞刚 ;

马鹰俊 ;

陈立华 ;

黄青华 .

中国专利 :CN103426706A ,2013-12-04

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