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一种白光干涉仪自动对焦装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010124459.8
申请日：
2020-02-27
公开(公告)号：
CN111220067B
公开(公告)日：
2020-06-02
发明(设计)人：
刘乾
黄小津
张辉
李璐璐
申请人：
申请人地址：
621000 四川省绵阳市绵山路64号
IPC主分类号：
G01B902
IPC分类号：
代理机构：
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220
代理人：
唐邦英
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-13 | 授权 | 授权 |
| 2020-06-02 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20200227 |