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白光干涉仪的快速对焦方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311837151.8
申请日：
2023-12-28
公开(公告)号：
CN120232341A
公开(公告)日：
2025-07-01
发明(设计)人：
萧玮仁
潘世耀
李明翰
申请人：
致茂电子(苏州)有限公司
申请人地址：
215011 江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区珠江路855号（第七号厂房）
IPC主分类号：
G01B9/02015
IPC分类号：
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
张燕华
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-01 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02015申请日:20231228 |